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Lambda准分子激光镜片
产品名称:ArF(193nm)准分子激光器腔镜
产品型号:准分子激光器腔镜
Specifications
Material:
VUV grade MgF
2
,
VUV grade CaF
2
Surface Quality:
< 20 / 10
Radius of Curvature:
∞
Surface Flatness:
< λ / 10 @ 633 nm
Diameter Tolerance:
< + 0.00 / - 0.20 mm
Thickness Tolerance:
< ± 0.25 mm
Clear Aperture:
>
85% of diameter
Damage Threshold:
>
1.2 J /cm², 10 ns
Durability:
Meet adhesion and abrasion per MIL-C-675
MgF
2
CaF
2
Diameter
Thickness (mm)
Runp
Rear Cavity Mirror
XRM-1203M-193
XRM-1203CU-193
0.50”
3.0
>
97%
XRM-2003M-193
XRM-2003CU-193
20mm
3.6
>
97%
XRM-2503M-193
XRM-2503CU-193
1.00”
3.0
>
97%
XRM-3605M-193
XRM-3605CU-193
36 mm
5.5
>
97%
XRM-3805M-193
XRM-3805CU-193
1.50”
5.5
>
97%
XRM-5009M-193
XRM-5009CU-193
2.00”
9.5
>
97%
Output Coupler
XOC-1203M-*R-193
XOC-1203CU-*R-193
0.50”
3.0
*
XOC-2003M-*R-193
XOC-2003CU-*R-193
20 mm
3.6
*
XOC-2503M-*R-193
XOC-2503CU-*R-193
1.00”
3.0
*
XOC-3605M-*R-193
XOC-3605CU-*R-193
36 mm
5.5
*
XOC-3805M-*R-193
XOC-3805CU-*R-193
1.50”
5.5
*
XOC-5009M-*R-193
XOC-5009CU-*R-193
2.00”
9.5
*
* Any percentage of reflection is available upon customer’s
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